Research Interests:

1) Monte Carlo Simulation of Electron Interaction with Solids and  CD-SEM

2) Radiation Damages in Materials

Tel：（0551）65591173

Email：mkhan@theory.issp.ac.cn

List of Publications

1) An Extensive Theoretical Quantification of Secondary Electron Emission from Silicon

Reference: M.S.S. Khan, S.F. Mao, Y.B. Zou, D.B. Lu, B. Da, Y.G. Li and Z.J. Ding 

Vacuum 215, (2023), 112257

https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112257

2) Uncertainty Evaluation of Monte Carlo Simulated Line Scan Profiles of Critical Dimension

Scanning Electron Microscope (CD-SEM)

Reference: M.S.S. Khan, S.F. Mao, Y.B. Zou, Y.G. Li, B. Da and Z.J. Ding 

Journal of Applied Physics, 133, (2023), 245303

https://doi.org/10.1063/5.0153379

3) Critical-Dimension Scanning Electron Microscope Characterization of Smoothly Varying 

Wave Structures with a Monte Carlo Simulation

Reference: M.S.S. Khan, L.H. Yang, X. Deng, S.F. Mao, Y.B. Zou, Y.G. Li, H.M. Li and 

Z.J. Ding

Journal of Physics D: Applied Physics, 54, (2021), 445301

https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac0de5

4)  Monte Carlo Simulation of Secondary Electron Emission from Wave-type Structure 

Reference: M.S.S. Khan, Y.B. Zou, C. Li and Z.J. Ding

Journal of University of Science and Technology of China, 49, (2019), 79

 https://doi.org/10.3969/j.issn.0253-2778.2019.01.011

5)  A Theoretical Characterization Method for Non-spherical Core-Shell Nanoparticles by 

XPS

Reference: J.M. Gong, M.S.S. Khan, B. Da, H. Yoshikawa, S. Tanuma and Z.J. Ding 

Physical Chemistry Chemical  Physics, 25, (2023), 20917

https://doi.org/10.1039/D3CP01413D

6)  Use of Model-Based Library in Critical Dimension Measurement by CD-SEM 

Measurement

Reference: Y.B. Zou, M.S.S. Khan, H.M. Li, Y.G. Li, W. Li, S.T. Gao, L.S. Liu and Z.J. Ding

Measurement, 123, (2018), 150

https://doi.org/10.1016/j.measurement.2018.02.069

7) NRIC: A Noise Removal Approach for Nonlinear Isomap Method

Reference: M. Yousaf, M.S.S. Khan, T.U. Rehman, S. Ullah and L. Jing

Neural Processing Letters, 53, (2021), 2277

https://doi.org/10.1007/s11063-021-10472-3

8) NR-Isomap: An Incremental Approach with Gaussian Process Kernels for Denoising

Reference: M. Yousaf, M.S.S. Khan, S. Ullah, S. Wang and L. Jing

In 2023 IEEE 6th International Conference on BDAI, (2023), 40

https://doi.org/10.1109/BDAI59165.2023.10256697

9) Influence of Energy Loss Function to the Monte Carlo Simulated Electron Backscattering

Coefficient

Reference: H.T. Chen, Y.B. Zou, S.F. Mao, M.S.S. Khan, K. Tőkési and Z.J. Ding

Scientific Report 12, (2022), 18201

https://doi.org/10.1038/s41598-022-20466-3